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          微型PECVD系統

          簡(jiǎn)要描述:微型PECVD系統本設備主要針對實(shí)驗中試石墨烯生長(cháng)和制備使用,同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)??芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

          • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-S-PECVD
          • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
          • 更新時(shí)間:2021-09-30
          • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3662

          產(chǎn)品分類(lèi)

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          應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子

          微型PECVD系統微型PECVD系統

          高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無(wú)須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線(xiàn)的升、降溫要求調整輸出信號,同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品,做到高性能、免維護,提高了設備質(zhì)量的可靠性。               

           1、加熱系統

          最高溫度

          1200℃

          使用溫度

          ≤1100℃

          爐膛有效尺寸

          Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實(shí)際需要定制。)

          爐膛材料

          氧化鋁、高溫纖維制品

          熱電偶類(lèi)型

          K型熱電偶

          控溫精度

          ±1℃

          控溫方式

          30段可編程控溫,PID參數自整定。

          加熱長(cháng)度

          230mm

          恒溫長(cháng)度

          100mm

          加熱原件

          電阻絲

          供電電源

          單相,220V,50Hz

          2、PE射頻電源

          功率輸出范圍

          0W~500W

          最大反射功率

          100W

          射頻輸出接口

          50 Ω, N-type, female

          功率穩定度

          ≤5W

          諧波分量

          ≤-50dbc

          供電電壓

          單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

          整機效率

          >=70%

          功率因素

          >=90%

          冷卻方式

          強制風(fēng)冷

          3、三路質(zhì)子流量控制系統

          連接頭類(lèi)型

          雙卡套不銹鋼接頭

          標準量程(N2)

          50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶(hù)要求定制)

          準確度

          ±1.5%F.S

          線(xiàn)性

          ±1%F.S

          重復精度

          ±0.2%F.S

          響應時(shí)間

          氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

          工作壓差范圍

          0.1~0.5 MPa

          最大壓力

          3MPa

          接口

          Φ6,1/4''

          顯示

          4位數字顯示

          工作環(huán)境溫度

          5~45高純氣體

          壓力真空表

          -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

          截止閥

          Φ6

          內外雙拋不銹鋼管

          Φ6

          4、機械泵

          抽氣速率

          10m3/h

          極限真空

          5X10-1Pa

          工作壓力范圍

          1.01325X105~1.33X10-2Pa

          耐壓值

          0.03MPa

          容油量

          1.1L

          進(jìn)氣口口徑

          KF25

          排氣口口徑

          KF25

          噪音

          50dB

          連接方式

          采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連


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