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          雙爐滑軌PECVD

          簡(jiǎn)要描述:雙爐滑軌PECVD該PECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統)系統,有多路質(zhì)量流量計系統(進(jìn)口流量計),真空機組(進(jìn)口真空泵),PE射頻電源(進(jìn)口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時(shí)擴大工藝的使用條件,滿(mǎn)足更多的工藝實(shí)驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀(guān)察。

          • 產(chǎn)品型號:
          • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
          • 更新時(shí)間:2021-09-30
          • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1455

          產(chǎn)品分類(lèi)

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          品牌貝意克價(jià)格區間面議
          儀器種類(lèi)管式爐產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
          應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子

          雙爐滑軌PECVD雙爐滑軌PECVD技術(shù)參數:

          雙溫場(chǎng)滑軌爐

            主要特點(diǎn):

            滑軌式快速升溫爐是專(zhuān)為生長(cháng)石墨烯研制的石墨烯生長(cháng)專(zhuān)用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗,這款設備是根據開(kāi)啟式真空管式爐改裝而來(lái)的,操作時(shí)可將實(shí)驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。

            技術(shù)參數:

            額定功率(KW):4

            額定電壓(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

            最高溫度(℃):1200(1 hour)

            持續工作溫度(℃):1100

            最大升& 降溫速率(℃/S):≤20

            爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1900(管徑可選)

            加熱區長(cháng)度(mm) :230+230

            恒溫區長(cháng)度(mm):100+100

            控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能

            控溫精度(℃):±1

            密封系統:爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表,法蘭進(jìn)氣端配置兩個(gè)Φ6mm卡套進(jìn)氣口。

            凈重(Kg):80

          射頻電源500W

           

            信號頻率:13.56 MHz±0.005%

            功率輸出范圍:L5W-500W

            最大反射功率:200W

            射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

            功率穩定度:±0.1%

            諧波分量:≤-50dbc

            供電電壓:?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V)

            頻率:50/60HZ

            整機效率:>=70%

            功率因素:>=90%

            冷卻方式:強制風(fēng)冷

          供氣系統

           

            工作電壓:185~245V 50HZ

            最大輸出功率:18W

            流量計標準量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊以氮氣標定,量程可選)

            工作溫度:5~45℃

            工作壓差:0.1~0.5MPa

            最大壓力:3MPa

            準確度:±1.5% FS

            測量范圍:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

            針閥:316不銹鋼

            混氣罐:Φ80×120mm

            截止閥:Φ6mm"316不銹鋼針閥

            尺寸:600×600×650 mm

          低真空機組VAU-02

           

            空氣相對濕度: ≤85%

            工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

            抽氣速率:8m3/h

            極限真空:4X10-2Pa

            實(shí)驗真空度:1.0X10-1Pa

            容油量: 1.1L

            進(jìn)氣口口徑:KF25

            排氣口口徑:KF25

            轉速:1450rpm

            噪音:50dB

            外型尺寸:600×600×600mm


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