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          1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)

          簡(jiǎn)要描述:BTF-1700C-CVD1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計系統以及國產(chǎn)高真空系統(或選配低真空系統)所組成。

          • 產(chǎn)品型號:
          • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
          • 更新時(shí)間:2021-09-27
          • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:4176

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          設備1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)特點(diǎn)

            此款1700℃高溫CVD系統,是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計系統以及國產(chǎn)高真空系統(或選配低真空系統)所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗環(huán)境. 設備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡(jiǎn)單、方便;設備的各項技術(shù)參數,30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個(gè)實(shí)驗的運行狀態(tài)盡在您的掌控之中。

          1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選

          加熱區參數

           爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

           加熱元件:硅鉬棒

           加熱區長(cháng)度:300mm

           恒溫區長(cháng)度:150mm

           工作溫度:1550℃

           最高溫度:1650℃

           控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

           控溫精度:±1℃

           推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

           工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

           額定功率:5.2 KW

           外型尺寸:610×440×720 mm

           標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個(gè);

           密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實(shí)際使用擴展。

          氣路系統參數

           

           質(zhì)量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

           準確度:±1.5%

           線(xiàn)性:±0.5~1.5%

           重復精度:±0.2%

           響應時(shí)間:≤10sec

           工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

           最大壓力:3MPa

           接口:Φ6,1/4''

           顯示:4位數字顯示

           工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

           內外雙拋不銹鋼管:Φ6

           壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

           截止閥:Φ6

           連接頭類(lèi)型:雙卡套不銹鋼接頭。

           可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計

          低真空系統參數

           

           抽速:10m3/h

           極限真空度:5*10-1pa

           電源:220v 50hz

           電機功率:0.4kw  

           進(jìn)排氣連接口:KF25

           用油量:1.1L

           電機轉速:1440rpm

           工作環(huán)境溫度:5-40℃

           噪音:≤56db

           電阻真空計參數:

           1.配用規管:電阻規,

           2.測量范圍: 105~10-1 Pa,

           3.測量路數: 1路

           4.控制范圍: 5×103~5×10-1Pa,

           5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載

           6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

           7.功耗: 20W

           采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統相連接

          高真空系統參數

           

           空氣相對濕度:≤85%

           工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

           功率:1KW

           系統整體極限真空度:10-5Pa

           實(shí)驗真空度:10-3Pa

           外形尺寸:850×600×650mm

           機械泵:

           抽氣速率:10m3/h

           容油量:1.1L

           電機功率:400W

           極限壓強:6×10-2Pa

           分子泵:

           抽氣速率:100L/S

           極限壓強:6×10-6Pa

           啟動(dòng)時(shí)間:<2min

           額定轉速:4300轉/分

           冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時(shí),風(fēng)冷;5-40℃時(shí),水冷。

           分子泵控制器:

           電壓:220V±22V

           啟動(dòng)電流:≤7A

           輸入頻率:47HZ~63HZ

           最大輸出功率:≤150W

           最大加速電壓:≤40V

           加速時(shí)間:≤3min

           頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                                  低速430HZ±5HZ

           復合真空計:

           測量路數:2路(電阻規、電離規各1路)

           工作模式:手動(dòng)/自動(dòng)

           電阻單元參數

           規管型號:電阻規

           測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

           有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

           控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

           電離單元參數

           規管型號:電離規

           可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

           有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

           控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

           規管除氣方式:焦耳去氣

           其他參數

           控制路數:4路

           控制方式:點(diǎn)動(dòng)或區域控制/帶掉電記憶

           控制精度:±1%

           采樣時(shí)間:1s

           電源:220V±10% 50HZ

           功耗:50W

           使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

           濕度:≤85%

           連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s,采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統相連接。

          備注:

          可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。


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